第259章 突破14nm光刻机工艺（2/5）

孙立群介绍道：“这些机器人全部是星海科技研发制造的特种工业机器人……

光源系统、摄像光学系统、调焦扫描系统、视频采集系统和监测软件等等，也是由星海科技独家研发，并且拥有全部知识产权……”

“了不起啊！难怪网上都说星海是中国科技的未来之星。”

陪同着一起超前的陈序，谦虚道：“总L过奖了，我们还有很多不足的地步。”

首长亲切的拍拍他肩膀，然后顺着参观台上设立的透明甬道朝前走去，边走边看，同时问道：“那目前主要还有哪些困难呢？”

“主要就是机械精度方面有待提高…它里面有两个同步运动的工件台，一个载底片，一个载胶片，两者需要始终同步，误差要在2nm以下，而两个工作台由静到动，加速度跟导弹发射差不多……”

孙立群抢着介绍了一番后，首长转头问右侧的陈序，“小陈你估计多长时间能研制成功？”

陈序组织了一下语言说：“如果一切顺利的话，大概今年底吧！”

说完陈序又跟到：“因为是第一次做没经验，再加上一些关键性的零部件被卡了脖子，只能通过自主研发。不过等到7nm时应该会很轻松。”

首长闻言有些讶异道：“7nm？”

孙立群再次抢着介绍道：“总L您没听错，正是7nm。

我们和星海在研发14nm以及10nm的同时也在布局7nm，而且我们的7nm技术跟国外的稍稍有些不同……”

首长听完后点点头，再次伸手拍拍陈序的手臂，“嗯，你是好样的！”

陈序被夸的有些不好意思了，呵呵笑着没说话。